Cristal YAG
1. Introduction
Le cristal YAG (Yttrium Aluminium Garnet, Y₃Al₅O₁₂) est un excellent matériau laser et optique connu pour sa dureté élevée, sa conductivité thermique élevée, sa bonne stabilité chimique et son homogénéité optique supérieure. Il est largement utilisé dans les lasers à semi-conducteurs-, les substrats de phosphore LED, les fenêtres optiques, les équipements laser médicaux et les systèmes électro-optiques de défense.
Hemei Company possède une profonde expertise technique dans l’usinage de précision de matériaux durs et cassants. Elle a développé un processus de polissage efficace et stable spécifiquement pour les cristaux YAG, permettant un traitement entièrement contrôlable du polissage grossier au polissage fin. Cela garantit que la surface du cristal YAG répond aux normes de qualité pour les applications de « qualité laser - ou de « qualité optique - ».
2. Exigences de candidature
Les objectifs de polissage des cristaux YAG comprennent :
Rugosité de surface (Ra) réduite à < 0,5 nm.
Précision de la figure de surface (valeur PV) meilleure que λ/10 (@632,8 nm).
Surface exempte de dommages et de-fissures souterraines, répondant aux exigences du seuil de dommages induits par le laser (LIDT).
Uniformité de l'épaisseur (TTV) contrôlée dans une plage micrométrique spécifiée.
Pour atteindre ces objectifs, le processus Hemei utilise un système de liaison personnalisé et une procédure de polissage en plusieurs-étapes, garantissant la précision géométrique et l'intégrité de la surface pendant le traitement.
3. Spécifications du système
Le système de polissage modulaire de Hemei prend en charge le traitement des cristaux YAG de différentes tailles et formes. Le système de base comprend :
Équipement de rodage HSM-série L/LP : Utilisé pour l’enlèvement initial de matière et le contrôle de l’épaisseur.
Système de polissage mécano-chimique (CMP) HSM-série CMP : Utilisé pour obtenir une surface ultra-lisse et sans dommage-.
Sous-systèmes clés :
Unité de liaison spécifique aux plaquettes/cristals (WBU)
Appareils de polissage de précision série SJ/ASJ
C-Tête d'entraînement ASJ-Système de polissage à grande vitesse
4. Flux de traitement
Collage et montage : Le cristal YAG est temporairement lié à une plaque de support à l'aide du WBU, puis monté sur le dispositif de polissage.
Polissage grossier et intermédiaire : Un rodage contrôlé est effectué sur l'équipement HSM-L pour éliminer la couche endommagée de l'usinage.
Polissage fin : Le système HSM-CMP est utilisé pour le polissage final. En ajustant des paramètres tels que la pression, la vitesse de rotation et le débit de boue en temps réel-, une finition de surface à l'échelle nanométrique est obtenue.
5. Résultats typiques
Rugosité de surface : Ra < 0,5 nm
Précision de la figure de surface : PV inférieur ou égal à λ/10
Taux d'enlèvement de matière : 1-2,5 μm/heure (réglable)
Applicable aux plaquettes YAG jusqu'à moins ou égal à 6 pouces de diamètre et aux cristaux de forme irrégulière.
6. Résumé
Hemei Company fournit une solution de polissage complète et fiable pour les cristaux YAG, capable d'atteindre systématiquement une qualité de surface à l'échelle nanométrique et des performances optiques élevées. Cela prend en charge l'application industrielle de YAG dans des domaines haut de gamme tels que les lasers et l'optoélectronique.
Le processus ci-dessus est complété à l'aide de la machine de rodage et de polissage des semi-conducteurs Hemei.
